氣體滲氮時，不銹鋼零件必須清除表面鈍化膜，且滲氮時間較長；液體軟滲氮雖然不需要清除鈍化膜，但鹽浴有毒，對人體有害，對環境也是污染。目前，不銹鋼零件滲氮應用較多的就是離子滲氮。不銹鋼零件在離子滲氮時，由于離子轟擊的作用，可以自動去除不銹鋼、耐熱鋼零件表面的鈍化膜，并可直接進行不銹鋼零件的滲氮。與氣體滲氮相比，離子滲氮具有以下優點：
1. 滲入速度快
在滲氮溫度和保溫時間相同的情況下，離子滲氮所得到的滲氮層厚度明顯大于氣體滲氮層深度，特別是淺層滲氮時（滲層≤0.20mm），離子滲氮的速度是氣體滲氮的兩倍以上。
2. 零件變形小
由于離子滲氮是通過陰極濺射進行的，因此抵消掉了一部分因氮的滲入引起的零件尺寸的漲量。同時離子滲氮溫度較低，變形較小。
3. 滲氮組織易于控制
通過調節滲氮氣體的成分可以對滲層組織進行適當的控制，并降低不銹鋼零件的脆性。
4. 易于實現局部滲氮
用機械屏蔽法即可對非滲氮部位進行有效的保護，比氣體滲氮采用電鍍、涂料等保護法經濟、簡便。
離子滲氮是在離子滲氮爐中進行的，在低真空下，向爐中通入氨氣或氮氫混合氣體。以工件為陰極，爐壁為陽極，在直流電壓的作用下引起輝光放電，氮被離子化，并以高速向工件表面轟擊，一方面使工件表面產生離子濺射，造成晶格缺陷；另一方面，轟擊產生熱能，加熱工件表面。氮離子被工件表面擒獲、吸收，并向工件內部擴散。
一、離子滲氮的工藝參數
離子滲氮的主要工藝參數為：
1. 真空度：一般為1.33～13.3Pa，爐子應在限定時間達到6.65Pa。
2. 氣壓：氣體常用壓力為266~793Pa。
3. 電流密度:0.5~5mA/cm.
4. 輝光電壓：加熱電壓為550~750V;在保溫階段,電壓應適當比加熱階段電壓略低,通常為550~650V。形狀簡單取650V,形狀復雜取550V。
5. 滲氮溫度：一般取450~600℃,即使在400℃以下也能滲氮處理。滲氮溫度低時滲層薄,但溫度過高則氮化物粗化、硬度下降并降低抗粘模能力。工廠里多采用510-550℃,效果較佳。
6. 滲氮時間：離子滲氮時間的選擇主要取決于零件所選用的材料、要求的滲氮層深度以及滲氮的溫度。不銹鋼零件一般取2~6h。
7. 滲氮氣氛：目前,一般使用的是預先經過熱分解的氨氣進行離子滲氮,可以較好地解決直接通氨進行離子滲氮時所產生的一些缺陷,而且方法簡便。有的單位采用N2和H2的混合氣體進行滲氮,H作為稀釋氣體加人可調節滲氮氣氛的氮勢(N和H2的比例可在20:80到80:20之間變化),從而較容易地對滲氨層組織進行控制,提高不銹鋼零件的滲氮質量。
二、滲氮前的準備
為了控制滲氮質量,必須對零件的預處理、設備真空性能、滲氮操作進行嚴格控制。
1. 零件的調質處理或固溶處理：馬氏體不銹鋼調質后,其基體為回火索氏體組織,提高了基體強度和韌性及疲勞性能。同樣條件下,調質后滲氮層深度可提高20%以上,硬度也有所提高。奧氏體不銹鋼固溶后可獲得單一的奧氏體組織,有利于滲氮層深度的提高。
2. 消除應力退火：為了減少不銹鋼零件滲氮后的變形,在半精加工后、精加工前,加一次消除加工應力退火處理。退火溫度為600-700℃,保溫時間為2-4h,可減少變形。
3. 不銹鋼零件在滲氮前應進行脫脂除銹,清理飛邊毛刺,消除弧光放電。
4. 應進行設備極限真空度試驗,爐子應在限定的時間內達到6.65Pa。否則,在沒有足夠的極限真空度下,容易引起工件在滲氮和冷卻過程中的氧化,加大氮原子擴散阻力。
5. 真空保持試驗。真空保持和極限真空度有密切關系。實踐證明,爐子的真空保持(即壓升率)為爐壓每分鐘上升0.133~0.266Pa時,即能滿足工藝要求。一般開5爐后即應作一次真空保持試驗。
三、滲氮操作
滲氮的具體操作如下:
1. 清洗：清洗待滲氮件表面和內孔的油污、銹斑以及孔內殘存的切屑。
2. 裝爐：同爐處理的待滲氮件應為同種零件或表面積和重量之比接近的零件。零件與陰極托盤之間接觸良好,零件間距一般為40~70mm。如能保證質量,也可以多種零件混裝。
3. 待滲氮件需防滲部位和不需滲氮的小孔、窄縫應進行覆蓋、屏蔽。待滲氮件至陽極距離大致相等，在待滲氮件預測溫度可能偏低的部位可設置輔助陰極和輔助陽極。
4. 試樣安放的位置應保證在滲氮時與零件的溫度一致，或采用模擬試件。
5. 蓋上爐罩，起動真空泵，待爐壓至極限真空度后停泵，使爐內壓升至常壓，并重復一次。這樣也能降低起輝電壓，縮短打散弧時間。
6. 氨干燥處理：供貨態的氨，有一定的殘存水分會隨氨進入爐內，容易使化合物層出現ε相。干燥器最好用不銹鋼板焊接，填充硅膠、木炭等干燥劑。在滲氮過程中，若氨氣流量計出現小水珠，應對干燥劑進行烘干或更換。
7. 氨熱分解：氨熱分解可通過750℃左右的蛇形或螺旋形熱分解器實現。分解器的內徑為8～12mm，由不銹鋼管制成，展開長度為1.5～2.5m。分解器可置于箱式電爐內，也可用6kW左右的專用封閉式小型電爐。
8. 正壓狀態供氮：輸氮管路一般都比較長，接頭多，而且常存在盤折現象。氨壓在管壁損失大，加之干燥器的阻力，使流量計進氣端接頭等處有可能出現負壓。若這些地方不嚴密，空氣進入流量計，混入爐內，將造成零件滲氮層薄且硬度低等缺陷。所以流量計一側應維持正壓，輸氨管路應盡量短，各個接頭要牢固。
9. 采用合適的電壓點燃輝光后，采用逐步交替升高壓和氣壓的程序進行清理和升溫，升溫速度一般以250～350℃／h為宜。升溫速度過快，會增加零件的變形量，因此易變形零件在400℃以上應緩慢加熱。
10. 冷卻水要適量：保溫期間冷卻水不宜過大，爐體表面溫度維持在30℃左右即可。
11. 弱輝降溫：保溫階段結束后，提高爐內真空度，減小電流，以不使輝光熄滅為度（傳統上是關閉閥門停止供氣和抽氣，切斷輝光電源，零件在滲氮氣氛中隨爐冷卻）。待爐溫降到250℃以下時滅輝，再加大氨量和冷卻水量，冷卻0.5h。
12. 零件溫度降到200℃以下方可出爐。
13. 零件出爐后應進行外觀、硬度、滲氮深度、金相組織、變形量的檢查。
部分不銹鋼常用滲氮工藝規范見表3-21，離子滲碳時的氨氣流量可根據設備功率參照表3-22選取。
